【導(dǎo)讀】全球半導(dǎo)體巨頭意法半導(dǎo)體（ST）宣布擴(kuò)大新加坡"廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室"（Lab-in-Fab）項(xiàng)目，聯(lián)合科技研究局微電子研究所 (A*STAR IME)、愛發(fā)科（ULVAC）、新加坡科技研究局材料研究與工程研究所 (A*STAR IMRE) 及新加坡國立大學(xué)（NUS），共同推進(jìn)壓電MEMS技術(shù)開發(fā)。
● 新一期廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室合作項(xiàng)目包括與新加坡科技研究局屬下材料研究與工程研究所 (A*STAR IMRE) 以及新加坡國立大學(xué) (NUS)的合作項(xiàng)目
● 此為新加坡半導(dǎo)體行業(yè)迄今為止最大的公私研發(fā)合作項(xiàng)目之一
● 專注于推進(jìn)壓電 微電機(jī)系統(tǒng)（MEMS） 技術(shù)產(chǎn)品在個(gè)人電子產(chǎn)品、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域的應(yīng)用
2025年5月29日，中國--全球半導(dǎo)體巨頭意法半導(dǎo)體（ST）宣布擴(kuò)大新加坡"廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室"（Lab-in-Fab）項(xiàng)目，聯(lián)合科技研究局微電子研究所 (A*STAR IME)、愛發(fā)科（ULVAC）、新加坡科技研究局材料研究與工程研究所 (A*STAR IMRE) 及新加坡國立大學(xué)（NUS），共同推進(jìn)壓電MEMS技術(shù)開發(fā)。
該計(jì)劃將有助于推進(jìn)環(huán)保型無鉛壓電材料的應(yīng)用，為傳感器和執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)高成本效益和微型化賦能。高等院校、初創(chuàng)企業(yè)、中小企業(yè)和跨國公司能夠利用整套生產(chǎn)線加快新型壓電微機(jī)電系統(tǒng)器件的市場轉(zhuǎn)化。生產(chǎn)的樣片預(yù)計(jì)將用于包括 3D投影和成像的壓電微機(jī)械超聲換能器，個(gè)人電子產(chǎn)品的微型揚(yáng)聲器，以及用于智能手機(jī)攝像頭模塊的自動(dòng)對(duì)焦裝置。
意法半導(dǎo)體模擬、功率分立器件、MEMS 和傳感器產(chǎn)品部門（APMS）副總裁及中央研發(fā)總經(jīng)理 Anton Hofmeister表示：“我們很高興能夠推進(jìn)這項(xiàng)合作計(jì)劃，歡迎新加坡科技研究局材料研究與工程研究所和新加坡國立大學(xué)加入廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室計(jì)劃2.0的新項(xiàng)目研發(fā)。這項(xiàng)計(jì)劃將推動(dòng)壓電 MEMS 技術(shù)的創(chuàng)新，并支持下一代器件的市場轉(zhuǎn)化。”
新加坡科技研究局創(chuàng)新與企業(yè)副局長Yeo Yee Chia教授表示：“我們正在深化和拓展與重要且具備創(chuàng)新材料、工具和工藝模塊的供應(yīng)商，以及技術(shù)開發(fā)、設(shè)計(jì)和制造企業(yè)的合作關(guān)系，并在研發(fā)成果的市場轉(zhuǎn)化方式上探索創(chuàng)新。這種合作方式將加快下一代采用環(huán)保無鉛材料的節(jié)能壓電MEMS器件的市場轉(zhuǎn)化，同時(shí)鞏固新加坡在全球半導(dǎo)體價(jià)值鏈中的地位。”
愛發(fā)科設(shè)備業(yè)務(wù)總部先進(jìn)電子設(shè)備部執(zhí)行官兼總經(jīng)理 Harunori Iwai 表示：“我們很榮幸能夠參與這一開創(chuàng)性的合作計(jì)劃，為壓電 MEMS 行業(yè)貢獻(xiàn)我們?cè)谥圃旒夹g(shù)解決方案方面積累的知識(shí)經(jīng)驗(yàn)。”
廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室計(jì)劃早已于 2020 年落地，立項(xiàng)的目的是開發(fā)一種通過物理氣相沉積 (PVD)方式生長鋯鈦酸鉛 (PZT)薄膜的方法。與傳統(tǒng)的體壓電技術(shù)相比，物理氣相沉積方法顯著降低了鉛含量。這項(xiàng)目的的成功促使了本次的深入廣泛的合作。
除壓電微電解系統(tǒng)MEMS外，新加坡的技術(shù)研發(fā)重點(diǎn)領(lǐng)域還包括異構(gòu)整合先進(jìn)封裝；碳化硅、氮化鎵等寬帶隙半導(dǎo)體；毫米波射頻等技術(shù)；平面光學(xué)元件、光子異構(gòu)集成等先進(jìn)光子技術(shù)。這些重點(diǎn)領(lǐng)域已列入新加坡科技研究創(chuàng)新與企業(yè)2025規(guī)劃（RIE 2025），旨在促進(jìn)新加坡發(fā)展成為創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)的經(jīng)濟(jì)社會(huì)。
廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室是新加坡半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)的重要參與者，致力于促進(jìn)與傳感器和執(zhí)行器公司、制造企業(yè)及其供應(yīng)商的合作，基于廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室的先進(jìn)材料和器件平臺(tái)，為國內(nèi)外高等院校提供多項(xiàng)目晶圓流片服務(wù)，同時(shí)還提供大學(xué)生實(shí)習(xí)和博士生研究機(jī)會(huì)，以擴(kuò)大本地和全球壓電 MEMS人才儲(chǔ)備。
作為全球領(lǐng)先的MEMS供應(yīng)商，二十多年來，意法半導(dǎo)體在 MEMS 市場中占據(jù)著舉足輕重的地位，利用自身的垂直整合制造(IDM) 業(yè)務(wù)模式，為客戶提供芯片設(shè)計(jì)制造一條龍服務(wù)。
意法半導(dǎo)體是首批在新加坡投資建廠的半導(dǎo)體公司，而廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室則是意法半導(dǎo)體宏茂橋園區(qū)的一項(xiàng)重要資產(chǎn)，完善了園區(qū)當(dāng)前的大規(guī)模制造業(yè)務(wù)，并為新加坡半導(dǎo)體制造生態(tài)系統(tǒng)的發(fā)展做出了貢獻(xiàn)。
主要利益相關(guān)者的評(píng)價(jià)
David Horsley教授（Northeastern University電氣與計(jì)算機(jī)工程系教授）：
“廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室模式解決了業(yè)界通常面對(duì)的應(yīng)力控制與蝕刻等常見問題，這樣，研究人員就能夠?qū)Ｗ⒂谧约旱墓ぷ鳎鵁o需做重復(fù)性的無用功。”
Fang Weileun教授（National Tsing Hua University 講座教授）：
“廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室讓學(xué)術(shù)團(tuán)體甚至初創(chuàng)企業(yè)能夠開發(fā)自己的芯片，并且更容易實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。”
Lu Yipeng副教授（北京大學(xué)集成電路學(xué)院副教授）：
“廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目對(duì)壓電微電機(jī)MEMS技術(shù)的發(fā)展影響很大，公私科研合作讓我們能夠取得單靠自身力量無法實(shí)現(xiàn)的突破。我們很榮幸加入這個(gè)創(chuàng)新的生態(tài)系統(tǒng)。”
Shuji Tanaka教授（Tohoku University機(jī)器人系教授）：
“在開發(fā)過程中擁有更大的自由度，研發(fā)周期也更短。”
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