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HSPP系列:ALPS開發了絕對壓檢測用壓敏電阻式MEMS壓力傳感器

發布時間:2008-09-18

產品特性:HSPP系列:ALPS開發了絕對壓檢測用壓敏電阻式MEMS壓力傳感器

  • 小型、低矮化
  • 單個元件的小型型號和內置功率放大器的混合型兩種
  • 產品穩定性好 

應用范圍:

  • 小型便攜式設備

ALPS開發了用于檢測氣壓或者高度的HSPP系列壓敏電阻式MEMS壓力傳感器(絕對壓檢測用),該產超小壓力傳感器樣品將從今年的10月起開始出售。

另外,本產品將參展9月30日起為期五天在幕張國際展覽中心(千葉縣千葉市)舉辦的《CEATEC JAPAN 2008》。

壓力傳感器不僅活躍在汽車、醫療、產業設備等領域,而且在洗衣機等消費電子產品領域上也得到廣泛應用,其應用范圍正在不斷擴大。如今,整機廠家正在研究在PND(便攜式導航裝置,Portable Navigation Device)及計步器上附加高度檢測功能,這種小型便攜式設備就需要搭載更小、更薄的壓力傳感器。

作為壓敏電阻式絕對壓檢測用壓力傳感器,本產品通過采用我公司多年積累下來的薄膜處理技術、微細加工技術及封裝技術,實現了小型、低矮化。單個元件的小型型號(HSPPAR)實現了長2.5mm x 進深2.5mm x 高0.7mm的尺寸,內置功率放大器的混合型(HSPPAA)實現了長3.5mm x 進深3.5mm x 高1.0mm的尺寸。

產品的上述兩種型號,有助于提高整機產品的設計自由度。而且,兩種型號的產品都適合表面貼裝。

本產品進行壓力檢測時采取將電阻變化作為電壓信號來讀出的方式,來自外部的壓力使薄膜彎曲并使形成于薄膜上的壓敏電阻元件變形,該變形產生用于檢測的上述電阻變化。這種方式將薄膜的彎曲量直接當作壓敏電阻元件的電阻變化來捕獲,因此可形成簡單的元件結構,而適合小型化。另外還通過ALPS獨有的微細加工技術加工出極小的傳感元件,實現了產品的薄小型化。

還有,采取通過優化蝕刻條件形成穩定的空腔、抑制了外應力影響的Si-Si密封接合、采用不受溫度變化影響的陶瓷材料等等措施,使產品性能加以穩定。

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