在高度精密的半導體制造王國中,電子氣體如同流淌的“芯片血液”,支撐著光刻、刻蝕、沉積等關鍵制程。然而,這些不可或缺的“血液”往往具有易燃易爆、劇毒或強腐蝕的特性。近年來,全球半導體行業因微小氣體泄漏引發的爆燃、設備損毀乃至人員傷亡事故屢見不鮮,每一次都可能伴隨著巨大的經濟損失。安全生產已成為懸在行業頭頂的達摩克利斯之劍。
行業痛點正是技術破局的起點。隨著《特種氣體系統工程技術標準》(GB50646-2020)的實施,在氣瓶柜、閥門箱排風口、廢氣處理裝置等關鍵風險點部署特種氣體探測裝置,已上升為國家強制標準要求。
作為國內氣體傳感器與安全儀表領軍企業,漢威科技憑借深厚積累,推出了專為半導體嚴苛環境打造的氣體檢測產品——GD-HS10半導體工廠氣體檢測儀。
據悉,GD-HS10半導體工廠氣體檢測儀的核心價值在于其強大的適應性與可靠性。面對半導體工廠中使用的上百種性質迥異、危險性極高的氣體(如極易燃的硅烷、劇毒的砷化氫、強腐蝕性的氯氣等),它能夠靈活集成電化學、催化燃燒、光學(PID)等多種原理的傳感器模組,實現ppm級高精度檢測,確保即使是微小的泄漏也能被及時發現。這種廣泛的覆蓋能力,使其成為應對復雜氣體環境的“安全哨兵”。
針對半導體制造環境空間復雜、設備密集的特點,GD-HS10半導體工廠氣體檢測儀創新性地采用了長達30米的進氣管設計,突破了物理空間的限制,能夠對遠端或難以直接布設傳感器的關鍵風險區域(如氣瓶柜內部、排風管道末端)進行超遠距離采樣監測,有效消除了監測死角,編織了一張更嚴密的安全防護網。
在確保高性能的同時,GD-HS10半導體工廠氣體檢測儀也充分考慮了實際運維的效率與便捷性。其傳感器采用模塊化設計,支持即插即用,大大簡化了日常維護和故障更換流程,可以顯著減少因設備維護導致的產線停機時間,保障半導體制造連續穩定運行。清晰直觀的點陣式LCD大屏,符合國內用戶的操作習慣,能夠實時、醒目地顯示氣體名稱、精確濃度及報警狀態,為現場人員提供即時、準確的決策依據,將復雜的安全數據轉化為可快速響應的行動指令。
據工作人員介紹,漢威科技的GD-HS10半導體工廠氣體檢測儀已在國內多家先進半導體制造工廠成功部署。該設備在提升特種氣體泄漏監測效率、保障超凈車間環境穩定、預防非計劃停機方面貢獻顯著,其穩定性和精準度得到了相關半導體制造企業運維團隊的廣泛認可。
半導體產業關乎國家的科技競爭力與戰略安全,其高質量發展離不開每一個環節的堅實保障。電子氣體安全管理雖處幕后,卻是支撐萬億產值安全運行的基石。
在傳感器技術日益成為工業智能化重要一環的今天,漢威科技等國內企業正通過自主創新不斷提升高端監測裝備能力,動態滿足半導體制造對安全生產的迫切需求,持續推動安全監測設備的國產化進程與標準提升。當安全生產與技術創新形成合力,中國半導體產業的高質量發展之路必將行穩致遠。這道由先進傳感器編織的隱形防線,正無聲地守護著中國“芯”制造的每一步跨越。